半導(dǎo)體超純水設(shè)備在半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要用于清洗硅片。少量水用于配制藥劑、硅片氧化的蒸汽源、某些設(shè)備的冷卻水、電鍍?nèi)芤旱呐渲?。產(chǎn)品的質(zhì)量與產(chǎn)量密切相關(guān)。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良，重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)降低PN結(jié)的耐壓力，III族元素 (B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化，V族素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化。細(xì)菌高溫炭化水中的磷(約為灰分的20%~50%)會(huì)使p型硅片局部變?yōu)镹型硅片，導(dǎo)致器件性能下降。水中的顆粒，包括細(xì)菌，如果附著在硅片表面，會(huì)導(dǎo)致短路或性能惡化?？梢?，超純水在半導(dǎo)體行業(yè)的必要性。

產(chǎn)品介紹：

Onyx的EX-UPW-TOC產(chǎn)品主要由高透185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器，高度精確的UV強(qiáng)度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。

185nmUV主要用于生產(chǎn)超純水過程中去除TOC有機(jī)物，降低TOC出水指標(biāo)，使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

電子級(jí)水UV-TOC控制系統(tǒng)

半導(dǎo)體超純水設(shè)備產(chǎn)品規(guī)格：

集成電路超純水應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板

2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗

5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗

6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)